「守护非遗·大师对话」文化活动在深圳隆重启幕！

　　日前拍摄的芜湖市繁昌区孙村镇境内的山川景色。 通讯员 钱 鸣 张敏娟 摄

　　近日，在泾县昌桥乡景山村上拐涝山林场，林场养护人员正在进行杂草拔除作业。

　　“去年我们人工造林700亩，林产品培育3800余亩，仅林产品培育和销售两项收入就达635万元，全部享受了免征企业所得税的政策红利。”泾县国有林业发展有限责任公司财务负责人程建介绍。作为全省首个国有林业发展有限责任公司，企业在林业生态保护修复上持续发力。

　　“我们将节省下的资金用于森林生态科普研究基地和林业生态修复，仅今年上半年就新增人工造林600亩。”程建说。随着企业发展得越来越好，雇佣的周边村民也增加到150余人，带动村民年增收230余万元。

　　为了扶持林农企业发展，支持社会资本投资林业，去年底我省出台的《支持社会资本参与林业发展若干措施》明确对林（农）业专业大户、家庭林（农）场、农民林（农）业专业合作社自产自销的林下种植、养殖和特色经济林产品，符合相关规定的，免征增值税。直接用于林业产业发展的生产用地按规定免交城镇土地使用税。对各类市场主体从事林业生态保护修复、生态旅游和森林康养等项目所得，符合相关规定的，免征企业所得税。

　　走进临泉县四方红农业科技合伙企业山核桃种植基地，5万亩薄壳山核桃林连绵成片、郁郁葱葱。“我们是一家以种植薄壳山核桃树为主的农林复合型企业，碧根果食品系列产品也已经研发成功，薄壳山核桃暨碧根果深加工（二期）项目将于10月建成投产，预计年产值可达33亿元。”企业负责人方谨介绍道。今年年初，该企业成功入选第五批国家林业重点龙头企业名单。

　　在方谨看来，企业走上快速发展道路，税务部门的帮扶功不可没。“为了进一步增加土地收益，我们探索实施‘林粮融合’模式，在林下种植小麦、大豆等粮油作物，税务部门得知后主动提醒我们可以享受自产自销林下种植农产品的税收优惠，仅仅是今年上半年就免征了增值税75.28万元。”方谨表示，企业发展至今，累计已经享受了各项税费优惠464万元。

　　在企业发展过程中，临泉县税务局聚焦林企涉税需求，针对性梳理涉林政策“礼包”，为各级林业重点龙头企业一对一配备“税务管家”，主动上门提供个性化服务，用税惠政策的“滋养扶持”和纳税服务的“精准滴灌”助力打造地方特色林业百亿产业，全力推动林业产业高质量延链升级。

　　为了促进生态保护和绿色发展的有机统一，我省税务部门充分发挥绿色税制激励作用，对各类市场主体从事林业生态保护修复、生态旅游和森林康养等项目所得，符合相关规定的，免征企业所得税。同时，组建税务专家服务团上门送服务，帮助企业轻松享受政策红利，让节省下来的资金投入到生态保护工作中。

　　明光市远景苗木有限公司是一家专门从事苗木种植销售的公司。今年以来，该公司享受增值税减免218万元。该公司负责人刘家林深有感触地说：“我是一名来乡村创业的外地人，一系列涉农税费优惠为我们发展提振了信心。”如今，该公司利用减免的税款投入到技术升级和专业化生产之中，精品苗木生产规模不断扩大，经济效益显著提升。

　　为助力涉林企业发展，明光市税务局成立“明税青锋”助林小分队，来到田间地头，为种植户、企业、合作社等讲解税费优惠政策、答疑解惑、辅导操作，落实落细林业生产者自产自销苗木等产品免征增值税等各项涉农优惠政策，助林企转型升级。

　　在税收优惠政策的支持下，明光市自来桥镇芳甸园农民专业合作社的发展势头也越来越好。“本地育苗成本费用低、经济效益高，今年招聘的员工增加了一倍。前几天，税务部门还到合作社给我们辅导宣传优惠政策，今年我们合作社共减免增值税9.9万元。”该合作社负责人李建欣高兴地说。

　　“我们将继续不折不扣落实税费优惠助力乡村振兴，精准聚焦林农需求，在种植户、种植业合作社、种植业生产企业的政策宣传落实上下足功夫，为林业企业提供配套服务。同时，我们持续深入打造‘家门口’税务局，满足乡镇地区涉税费需求，用更优惠的政策、更精准的服务、更便捷的办税体验助农兴农。”明光市税务局党委书记、局长姜培忠说。

　　安徽省税务局有关负责人表示，将充分发挥绿色税制在生态保护、绿色发展中的积极作用，落实落细税费支持政策，在提升税收治理能力、服务生态文明建设方面持续发力，以税力量保护绿水青山、守住金山银山。

　　（记者 汤 超）

绿色税制助力林下生“金”

蓋勒洛伊島

威爾士親王島 (阿拉斯加州)

火焰崇拜

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

梁孝真

WDFH

川上仁一

若卡塔尔这一全球第二大LNG出口国的供应中断持续，亚洲将首当其冲——其80%的LNG出口流向亚洲。印度、韩国、日本和中国台湾对中东LNG资源依赖程度较高，其中日本、韩国和中国台湾的天然气发电量占总发电量的30%–40%。若冲突短期内无法平息，煤电作为可快速上量的替代电源，将显著增加对煤炭的需求，以弥补潜在电力缺口。

3月2日，洲际交易所(ICE)纽卡斯尔动力煤4月合约上涨8.61%，3日再次上涨7.23%，收于138美元/吨，为2024年12月以来最高值，上涨预期明显增强。

尽管如此，市场中有声音认为本轮上涨难以复刻2022年俄乌冲突期间的行情。与2022年相比，当前亚洲两大煤炭进口国——中国和印度——均已建立起更强的国内供应缓冲。中国年煤炭产量稳定在48亿吨以上，具备灵活调控产能与进口节奏的能力;印度亦持续推进Coal India及其他矿企增产，长期目标是降低对外依存。加之欧洲煤电已结构性萎缩，市场情绪高涨与谨慎并存，而非恐慌。3月4日，纽卡斯尔动力煤期货价格已有回落迹象。

二、国内市场抗冲击能力强，前期上涨动能有所衰减

尽管国际煤价大幅上行，中国煤炭市场表现出较强独立性，对中东冲突事件的反应较为平稳。春节前后，受多重因素影响，港口和坑口煤价曾经历一波明显上涨：

印尼煤产量和出口量缩减预期;

北方港口库存明显低于往年同期;

主产地煤矿的生产尚待恢复恢复;

终端日耗有回升空间。

然而，进入本周，市场情绪明显降温，上涨趋势趋于停滞。

(1)主产地正常复产，港口调入量回升

主产地已有序复产，港口日调入量回升至200万吨高位;大秦铁路输送量本周首次回到120万吨/天的满发水平。北方港口库存连续多日回升，总量重回2500万吨以上。

(2)终端库存处于高位，淡季临近抑制采购意愿

根据CCTD高频监测数据，截至3月2日，沿海八省动力煤终端用户库存较去年同期偏高约7%，内陆十七省偏高约8%。尽管3月工业企业复工将带动日耗回升，但气温逐步升高，4–5月将进入传统电煤淡季，电厂对当前高位煤价接受度不高，需求低迷。

(3)贸易商集中出货，价格开始松动

随着前期煤价涨幅扩大，越来越多贸易商选择在淡季前出货兑现利润，市场报价出现松动。主产地方面，本周起主产地下调价格的煤矿数量有所增多。

综合来看，港口库存回升、煤价已实现可观涨幅、电厂库存充裕、季节性需求转弱等因素已主导国内煤价走势。CCTD环渤海动力煤现货参考价连续两日持平，上行趋势告一段落。

三、煤化工或成结构性支撑点

虽然国内发电领域受中东能源扰动影响有限，但煤化工板块可能获得外部支撑。据海关数据，2025年我国自中东地区进口甲醇约980万吨，占国内甲醇贸易量超过30%。

若伊朗气头化工品出口因冲突持续受限，或将推高中国华东地区甲醇价格，并进一步加剧2026年上半年北半球春耕期间的国际尿素供应缺口，间接提振国内煤化工用煤需求。根据CCTD监测数据，中国化工行业耗煤量保持明显增长，在截至2月27日的当周内，样本化工企业耗煤量同比增加12%，为同期历史最高。

四、结论

尽管目前处于传统需求淡季前夕，但主要动力煤品种价格已明显高于去年同期水平。

截至2026年3月4日，CCTD环渤海动力煤现货参考价显示，4500大卡、5000大卡和5500大卡动力煤现货价格分别为585元/吨、675元/吨和753元/吨，同比分别上涨11%、12%和8%。

与此同时，北方港口库存虽近期连续回升，但总量仍明显低于去年同期，供需局面由去年同期的明显供过于求转为略偏宽松，叠加当前国际煤炭价格因中东地缘冲突而获得强劲支撑，进口煤补充作用减弱，4–5月电煤传统淡季，市场表现仍有望好于去年同期，煤炭价格回调幅度预计有限。

国际能源新变局，煤市淡季调整有限

吃過路兵

中心区 (卡拉季县)

同煤集团总医院